快速冲程

泵行程的高速化（最大.240spm※）实现了小尺寸、轻量、低成本化。
* 冲程数因型号而异。 有关详细信息，请参阅规格表。

无孔设计

所有液体接触部分均采用氟树脂。 泵的外边缘部分也涂有氟树脂涂层，设计时没有金属暴露。 此外，我们专有的轴密封 （PAT） 进一步减少了颗粒的产生。

广泛的液体温度范围和高压放电

处理液的液温范围为5~180°C，排出压力可达Max.0.45MPa。 它可用于清洁和 CMP 工艺，以及药用工艺。

操作简单

采用传感器驱动方式，通过内置于泵中的接近开关切换电磁阀。 此外，还标配泄漏传感器。 通过连接到专用控制器，可以轻松控制和管理排放量。