ESA 类型
支持氢气等轻气体排气/可高速排气的大型腔室干式真空泵
ESA 车型提供 1，400L/min 至 10，000L/min 的排量，适用于氢气等轻气体排气，20，000L/min 至 80，000L/min 的排量适用于大型腔室的高速排气。 10，000L/min 以下的型号适用于轻气体排气，设计紧凑，可选择耐腐蚀材料选项，是 MO-CVD 等大流量轻气体排气应用的理想选择。 大型型号可实现安静、低振动，同时具有大排量，并提供有机溶剂排气选项，是 LCD 溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等的理想选择。
类型表达式单位ESA15-DESA25-DESA25XWESA70W(-D)ESA70WN(-D)ESA80W-HDFESA80WN-HDFESA100WESA100WNESA200WESA300WESA500WESA700W排气速度L/min1,400 (50Hz)2,500 (50Hz)5,000 (50Hz)7,000 (50Hz)7,000 (50Hz)8,400 (50Hz/60Hz)8,400 (50Hz/60Hz)10,000 (50Hz/60Hz)10,000 (50Hz/60Hz)20,000 (50Hz/60Hz)28,000 (50Hz)47,000 (50Hz)80,000 (50Hz/60Hz)1,700 (60Hz)3,000 (60Hz)6,000 (60Hz)8,400 (60Hz)8,400 (60Hz)30,000 (60Hz)50,000 (60Hz)到达压力Pa400 (50Hz)5.3 (50Hz)5.3 (50Hz)0.27 (50Hz)0.4 (50Hz)0.130.270.130.270.530.530.530.5270 (60Hz)4.0 (60Hz)4.0 (60Hz)0.13 (60Hz)0.27 (60Hz)连接口径进气口NW40NW50ISO80NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80ISO100ISO160ISO160排气口NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW50到达压力时功率概略值kW2.9 (50Hz)2.6 (50Hz)5.2 (50Hz)3.6 (50Hz)3.6 (50Hz)4.24.24.94.93.2 (50Hz)6.6 (50Hz)5.1 (50Hz)7.43.2 (60Hz)2.9 (60Hz)5.8 (60Hz)4.0 (60Hz)4.0 (60Hz)3.4 (60Hz)7.3 (60Hz)6.7 (60Hz)冷却水流量L/min3.5~83.5~87~163.5~83.5~83.5~83.5~83.5~83.5~83.5~86~96~96~9温度℃Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30Max. 30N2流量Pa•m3/s14~17 (4.6)17~20 (3.8)34~4024~27 (4.7)24~27 (4.7)54~5754~5754~5754~4517~20 (3.8)7.5~10.58.5~118.5~11电源相/电压/频率200V 型号3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz3 相 / 200V / 50Hz
3 相 / 200-220V / 60Hz400V 型号3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz3 相 / 380-400V / 50Hz
3 相 / 380-440V / 60Hz-460V 型号3 相 / 440V / 50Hz
3 相 / 440-480V / 60Hz3 相 / 440V / 50Hz
3 相 / 440-480V / 60Hz3 相 / 440V / 50Hz
3 相 / 440-480V / 60Hz电源容量kVA6.46.412.810.310.312.612.612.612.61223.741.346.5大致质量kg2402404803803804004004004004107007501200
