Ebara 独特的高温技术支持半导体、液晶和太阳能电池制造过程中发生反应副产品的高负载工艺。 高节能性能使高负荷工艺兼容和节能同时实现。 标准配备耐腐蚀材料，大排量车型的排量为110，000L/min。 我们根据工艺条件提供广泛的产品阵容，可处理各种高负载工艺。